特种气体系统工程技术规范

特种气体系统工程技术规范GB 50646-2020是中国针对特种气体系统的规划、设计、施工、验收、运行和维护等方面提出的技术标准。以下是该规范的一些关键内容：

适用范围

适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。

不适用于特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。

术语

特种气体：用于电子产品生产的气体，如薄膜气体、掺杂气体、外延气体等。

特种气体系统：包括储存、输送与分配特种气体的设备、管道和部件。

硅烷站

硅烷站是放置硅烷储存设备、气化装置及尾气处理装置的独立建构筑物或区域。

电气控制室

应布置在与特种气体间相邻的控制室内。

应以耐火极限不小于3.00小时的隔墙和不低于1.50小时的楼板与特种气体间隔开。

特种气体工艺系统

应设置储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格、卧式气瓶、长管拖车等。

应设置气体分配用阀门箱、阀门盘、辅助氮气吹扫系统、尾气处理装置。

安全措施

特种气体站房内特种气体生产储量达到重天危险源时应采取相应措施。

剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或堵漏工具、排风装置和事故状态下的排风处理装置。

管道输送系统

材料选型、管道设计、管道标识应符合相关规定。

自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器。

工程施工与验收

主要设备、材料进场验收、气瓶柜与气瓶架的安装、阀门箱与阀门盘的安装、尾气处理装置及纯化器的安装、特种气体管道安装等应符合规范要求。

废止信息

原国家标准GB 50646-2011已被GB 50646-2020替代，自2020年10月1日起实施。

以上信息概述了GB 50646-2020特种气体系统工程技术规范的主要内容。如需详细解读或具体操作指导，请参考该标准的全文或相关条文说明。

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